产品与服务

RMS 配方管理系统

FA RMS是bet官网365(中国)股份有限公司提供的完全符合SEMI E42体系标准的配方管理系统(RMS)。


其能对设备配方及其Recipe Body内容进行有效的存储、管理和控制。通过与FA EAP(或其它EAP系统)和myCIM(或其它MES系统)结合,可以实现配方自动选择、自动加载、自动校验,能够极大的降低生产加工过程的用错配方的概率,极大的降低操作员的工作强度。


FA RMS已被国内外多个客户所采用,并得到了成功应用。


RMS 配方管理系统主要模块包括

  • 权限管理

    -人员管理-权限管理-邮件组的管理

    权限管理

    权限管理包括:

    - 人员管理

    - 权限管理

    - 邮件组的管理


  • 设备管理

    定义设备类型和设备类型对应的RecipeFormat

    设备管理

    设备管理包括:

    - 定义设备区域

    - 定义设备类型和设备类型对应的Recipe Format

    - 定义设备与设备类型的关系

    - 设备Recipe 与邮件关系的设定

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  • Recipe管理

    通过EAP,从机台下载RecipeList

    Recipe管理

    Recipe管理包括:

    - 通过EAP,从机台下载Recipe List

    - 保存Recipe List到FA RMS数据库

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  • Recipe Parse管理

    RecipeParse规则的设置,定义RecipeParse的方式

    Recipe Parse管理

    Recipe Parse管理包括:

    - 在线Online Parse Recipe Body内容

    - 对Recipe Body的内容进行比对

    - Recipe Parse规则的设置,定义Recipe Parse的方式


  • Recipe配置管理

    用户可以创建RecipeBody草案、上传Recipe/程序/序列体、编辑Recipe参数(格式化Recipe)和在Recipe上配置RecipeBody草案

    Recipe配置管理

    Recipe配置管理包括:

    - 用户可以创建Recipe Body草案、上传Recipe/程序/序列体、编辑Recipe参数(格式化Recipe)和在Recipe上配置Recipe Body草案

    - 用户可以选择Recipe/程序/序列ID在组合框内,Recipe/程序/序列的版本将在文本框中显示


  • Recipe Body模板配置管理

    提供工程师对RecipeBody模板内容的配置功能

    Recipe Body模板配置管理

    Recipe Body模板配置管理包括:

    - Recipe Body模板创建

    - 提供工程师对Recipe Body模板内容的配置功能

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  • Recipe Body版本比对校验管理

    FARMS支持支持三种RecipeBody比对方式:离线比对、不同机台间比对和不同版本之间比对。

    Recipe Body版本比对校验管理

    FA RMS支持支持三种Recipe Body比对方式:离线比对、不同机台间比对和不同版本之间比对。

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  • Recipe Body激活管理

    相关人员可以对RecipeBody的版本进行管控,可以将RecipeBody的临时版本激活为正式版本,从而让现场可以使用这些RecipeBody。

    Recipe Body激活管理

    相关人员可以对Recipe Body的版本进行管控,可以将Recipe Body的临时版本激活为正式版本,从而让现场可以使用这些Recipe Body。

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  • History管理

    记录详细的RecipeBody版本变更历史记录

    History管理

    History管理包括:

    + 记录详细的Recipe Body版本变更历史记录

    + 记录详细的Recipe Body比对结果历史


  • 软件架构

    FA RMS使用了微软的.Net构架,可以部署在任何运行Windows的服务器上,支持Windows Server 2003~2012及以上。

    提供了单独的客户端供操作员使用,也提供了API供其它系统调用。

    数据库则使用Oracle作为系统的数据库引擎。


  • 硬件架构

    FA RMS应用服务器数量可以视业务量随时增加和缩减,并可实现负载平衡。

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