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MES 制造执行系统 myCIM

bet官网365(中国)股份有限公司开发的myCIM是工作流驱动的新一代MES(Manufacturing Execution System 制造执行系统),其通过对工厂的信息共享与流程自动化的实施,最大限度地提高生产效率与良率,从而达到降低生产成本,改善生产管理的目的。

 

myCIM是全面的MES解决方案,具有极好的灵活性与扩展性,是国内率先具有完全自主知识产权的半导体行业MES,也是目前国内先进的MES产品之一。myCIM采用模块化设计,可按不同的行业以及客户需求进行搭配组合,以满足客户的各种需要,从而实现最大的投入产出比。

 

经过20余年的更新迭代,myCIM从最初的1.0版本进化为最新4.0版本,新版本能够支持全自动化FAB工厂的生产以及12英寸芯片生产线,达到工业4.0要求的高灵活性和个性化生产模式。

MES 制造执行系统 myCIM主要模块包括

  • 系统设置(SYS)

    系统设置为MES系统提供系统设置功能,包括生产单位、栏位、页面、数据字典、、菜单设置等,提供配置系统个性化Dashboard......

    系统设置(SYS)

    系统设置为MES系统提供系统设置功能,包括生产单位、栏位、页面、数据字典、菜单设置等,提供配置系统个性化Dashboard,系统设置模块作为一个标准框架提供了客户所需的基础通用功能,并提供了一系列的自定义扩展设置,有利于应用程序的迅速构建。使交叉多应用程序中对象的定义标准化,支持多语种和多单位。因为许多元素被客户化定义,系统变得更加灵活,扩展性更强。

  • 产品工艺规划(PRP)

    该模块允许用户定义产品及其对应的工艺流程,包括每个工步的进站和出站逻辑。在流程定义方面,模块支持多路径(Multi-path)......

    产品工艺规划(PRP)

    该模块允许用户定义产品及其对应的工艺流程,包括每个工步类型及相关流程控制。

    在流程定义方面,模块支持多路径(Multi-path),且现场作业时,可基于预先设定的条件,自动进行路径选择。

    该模块也支持各种产品流程控制,包括Q-Time控制(跨站正负时间限制)、机台限制、工艺/设备机限、污染等级控制,并提供设置各种Future Action(比如Future Hold、操作提示等)等等。

    返工设置方面,支持返工次数限制,且可通过系统的Context,定义多种层别的返工,比如工步级/工序级/流程级/产品级/批次级等。


  • 工程数据采集(EDC)

    该模块可以为生产中所需采集的数据设定采集计划,可以定义参数、参数集、采集点、样本与样点等......

    工程数据采集(EDC)

    该模块可以为生产中所需采集的数据设定采集计划,可以定义参数、参数集、采集点、样本与样点等。

    支持按Job、Lot、Wafer进行数据采集,并提供Wafer Sampling规则设定,包括TOP+N、BOTTOM+N等。

    可通过接口从量测设备直接获取数据,或则通过量测设备生成的文件自动获取数据。

  • 设备管理(EQM)

    该模块提供设备基础信息定义,包括父子设备和多腔设备的定义。提供设备状态模型的建立与追踪管理,且可实现父子设备间和多腔设备间的状态联动......

    设备管理(EQM)

    该模块提供设备基础信息定义,包括父子设备和多腔设备的定义。

    提供设备状态模型的建立与追踪管理,且可实现父子设备间和多腔设备间的状态联动,并可以支持状态切换的权限设定。

  • 工艺菜单管理(RCP)

    模块包含了所有工艺流程的工艺菜单信息,可以创建和更新工艺菜单,工艺菜单的设置使用受版本控制,包括创建、激活、冻结、取消功能等......

    工艺菜单管理(RCP)

    该模块包含了所有工艺流程的工艺菜单信息,可以创建和更新工艺菜单,工艺菜单的设置使用受版本控制,包括创建、激活、冻结、取消功能等。

    支持逻辑工艺菜单和实际工艺菜单(加工参数)的设置,并可以根据工艺条件设定,根据前层量测结果自动选择工艺菜单。


  • 在制品跟踪(WIP)

    该模块对在制品进行加工管理,指导操作员按照预先设定的工艺要求加工产品,并对加工信息进行详细的跟踪和记录。

    在制品跟踪(WIP)

    该模块对在制品进行加工管理,指导操作员按照预先设定的工艺要求加工产品,并对加工信息进行详细的跟踪和记录。

    其中最主要的作业管理功能允许跟踪多批次同时处理,可按片进行管理和跟踪,提供Wafer级的历史追溯。

    除常用的派工(Dispatch)/批量派工(Batch)/进站(Move In)/出站(Move Out)外,其它功能包括:分批(Split)/合批(Merge)、暂停(Hold)/释放(Relase)、跳步(Skip)/跳多步(Mulit-skip)、站内返工(Internal-rework)/站外返工(External-rework)等等。


  • 现场库存管理(INV)

    该模块包括原材料库和辅助材料库的管理。该模块可单独使用或则作为ERP中库房管理模块的扩展,实现接口功能。支持常见的库房管理功能:入库......

    现场库存管理(INV)

    该模块包括原材料库和辅助材料库的管理。该模块可单独使用或者作为ERP中库房管理模块的扩展,实现接口功能。

    支持常见的库房管理功能:入库、使用、出库、退库、库房定义、存放库房及货架、借出、归还、报废、修复出库、修复入库、品质等级、冻结等功能。


  • 花篮管理(CMS)

    该模块支持Cassette(花篮)的类型、Slot数、使用周期定义,同时支持状态模型管理......

    花篮管理(CMS)

    该模块支持Cassette(花篮)的类型、Slot数、使用周期定义,同时支持状态模型管理。

    提供花篮的维护设定,支持使用次数、使用时间的自动计算,触发提醒等。


  • 光刻版管理(RTL)

    该模块支持设定光刻板的相关属性,如类型、等级、用途、客户等,同时可以支持同E-RACK进行集成。支持光刻板的设备进出站管理......

    光刻版管理(RTL)

    该模块支持设定光刻板的相关属性,如类型、等级、用途、客户等,同时可以支持同E-RACK进行集成。

    支持光刻板的设备进出站管理,批次加工时进行检查光刻板是否使用正确。提供光刻板维护管理,可以根据使用次数及时间设置维护计划。

  • 工程实验管理(DOE)

    提供批次实验管理,包括批次流程的动态设定,分片单等功能,支持设定与替换批次的工步、Recipe、采集计划等信息,提供设定的流程签核。

    工程实验管理(DOE)

    提供批次实验管理,包括批次流程的动态设定,分片单等功能,支持设定与替换批次的工步、Recipe、采集计划等信息,提供设定的流程签核。

  • 异常处理管理(OCAP)

    提供Workflow编辑工具,设定OCAP流程,流程节点包括重量、加量、批注、批次释放等,根据流程设定进行签核及同MES功能联动。

    异常处理管理(OCAP)

    提供Workflow编辑工具,设定OCAP流程,流程节点包括重量、加量、批注、批次释放等,根据流程设定进行签核及同MES功能联动。

  • 软件架构

    myCIM 系统采用了基于Workflow驱动的微服务架构,具有高性能,高稳定性,高扩展性等特点。多个服务器实例可以同时提供服务,通过负载均衡技术对高并发请求提供同时处理能力,有效避免服务器运行压力过重对系统服务造成的影响;灵活的微服务架构也非常容易集成外部系统和服务,并提供接口集成测试与日志追溯,使得系统能够快速交付迭代。

  • 硬件架构

    由于使用了微服务架构,myCIM即可运行在Linux/Unix上,也可以运行在Windows上。可以支援x86与ARM服务器,同时支持容器化部署,加快开发与测试的快速迭代。

    myCIM应用服务器数量可以视业务量随时增加和缩减,支持LVS技术,可实现负载平衡。

    数据库方面,myCIM支持Oracle RAC技术,可实现高并发量的业务处理。对开源数据库PostgreSQL等也提供良好的支持,为客户提供更多的选择性。


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